安定した品質をお届けする専用工場
連綿と続く金属加工で蓄積してきたミロク機械独自の技術に加え、ラッピング定盤専用工場を持つことで、お客様のニーズにあった高品質な製品を実現。表面から内部まで均一な組織の厳選された素材を使用しています。
ラッピング定盤
LAPPING PLATED
両面ラッピング定盤
製品の特長
球状黒鉛が表面から深部まで均一に分布しており、最後まで砥粒の保持力が維持され高い生産性、精度が得られます。
| シリーズ名 | 表面硬度 HS |
黒鉛形態 | 用途例 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 粒形状 | 粒径 μm | 粒数 b/mm2 | |||
| M-400 | 18～25 | 球状 | 20～50 | 180～220 | 水晶 ガラス類 等 |
| M-450 | 24～30 | 球状 | 20～50 | 180～220 | シリコンウェハー フォトマスク セラミックス コピーミラー 水晶 ガラス類 等 |
| M-600 | 30～36 | 球状 | 20～50 | 180～220 | 化合物半導体 金属類 酸化物ウェハー 等 |
| M-700 | 34～40 | 球状 | 20～50 | 150～220 | シリコンウェハー セラミックス カーボン 金属類 等 |
| M-800 | 38～45 | 球状 | 20～50 | 150～220 | シリコンウェハー セラミックス カーボン 金属類 等 |
| M-900 | 43～50 | 球状 | 20～50 | 150～220 | シリコンウェハー セラミックス カーボン 金属類 等 |
特殊品についてもご相談に応じます。
最大Φ2200mmまで可能です。
片面ラッピング定盤
（セグメント）
製品の特長
表面から深部までの硬度差が少ない特殊合金を使用することで中心部まで高い硬度を確保。最後まで効率良く精度の高い加工が可能です。
その他関連消耗品
ラッピングに関する様々な消耗品を取り扱っております。
両面修正キャリア
キャリア材質各種
EG、SK、SUSベーク 等
ラッピングパウダー
各種
